Etude des propriétés morphologiques, électriques et chimiques de l’interface métal/isolant et de leur impact sur les performances de la capacité TiN/Ta spintec-dir 17 years ago Etude des propriétés morphologiques, électriques et chimiques de l’interface métal/isolant et de leur impact sur les performances de la capacité TiN/Ta Gaillard, Nicolas (2006)
